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日本ULVAC爱发科涡旋式干式真空泵

更新时间：2024-12-03

访问量：346

厂商性质：经销商

生产地址：

简要描述：

日本ULVAC爱发科涡旋式干式真空泵
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

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产品介绍：

品牌	ULVAC/日本爱发科	应用领域	环保,化工,电子,综合

日本ULVAC爱发科涡旋式干式真空泵

特点

结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺

日本ULVAC爱发科涡旋式干式真空泵

规格

	Unit	50Hz	60Hz
设计排气速度度※1	L/min	90	108
极限压力	Pa (kPa)	5.0
使用电动机※2		单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転
全负荷电流	A	2.6/1.3/1.6 (100/200/230V)	2.1/2.2/1.1/1.1 (100/115/200/230V)
重量	kg	14.0
吸气口径		KF-25
排气口径		KF-16
使用环境温度范围	℃	5～40
水蒸气处理量	g/day	≦5 以下（AF開時※3, 室温25℃, 湿度60％以下）
噪音水平	dB	≦52 （AF開時※3, ≦57）
最大尺寸	mm	214(W)×308(L)×225(H)

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。

※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
　　　　　　空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

中崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM脉冲、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌授权认证。