USHIO牛尾签署全球技术“半导体光阴极电子束”的代理协议

投资名古屋大学创业公司Photo electron Soul，加强半导体检测业务

Ushio Inc.（总部：东京，总裁兼执行官：Koji Naito，以下简称“Ushio"）特此宣布，我们已投资拥有下一代电子束生成技术的Photo electron Soul Inc.（执行官：铃木孝之，以下简称“PeS"），并签署了安装在电子束半导体晶圆图案检测设备中的半导体光电阴极单电子束生成系统（该系统）的代理协议。

PeS是名古屋大学成立于2015年的初创公司，是世界上一家成功开发创新工业半导体光电阴极电子束系统的公司。采用半导体光电阴极技术的电子束*1PeS旗下作为明亮光源或加工工具备受关注，有望用于半导体检测、电子显微镜和3D打印等应用。

检测时间长导致产量低，检测精度低导致良率低，这些都是挑战，特别是在半导体制造工艺的检测中，近年来小型化和多层化的进步令人瞩目。为了应对这些挑战，Ushio专注于PeS拥有的这个系统，这一次，我们投资并获得了销售权。因此，从今年1月起，我们利用牛尾的半导体检查设备光源全球销售渠道和各种半导体制造设备的全球维护系统，开始针对半导体制造检查设备制造商和半导体设备制造商的销售活动。

Ushio将继续通过我们的光技术，提供克服工业流程技术创新瓶颈的光解决方案，包括推进半导体小型化，为创造一个方便舒适的社会做出贡献。

*<> 电子束生成技术之一，通过照射材料上的光来利用光能提取电子束。

■半导体光电阴极电子束（图）

通过照射激光在半导体光电阴极上产生电子束
■PeS电子束的主要特点 ・亮度是传统热场发射电子束的十倍以上

・数字选择性电子束TM系列（DSeB） 函数*2
・多可变形电子束
・即使在长时间运行中也能保持高正常运行时间和出色的输出稳定性 

*2：快速激光开/关功能，可在特定区域在电子束照射和非照射之间切换。